TOPCon高效電池管式PECVD設備
核心技術
非晶硅在高溫晶化時脫膜抑制技術
低粉塵工藝技術
沉積薄膜過程電場阻抗系統穩態控制技術
大面積均勻性控制技術
等離子體脈沖氧化法制備超薄氧化硅技術
“氧化硅+原位摻雜非晶硅”二合一工藝技術
相關描述
金辰股份與中科院寧波材料所展開戰略合作，探索出用管式PECVD裝備實現TOPCon光伏電池核心材料“超薄氧化硅+原位摻雜非晶硅”的制備，同時在抑制非晶硅爆膜、防止電場導通、實現高效電池全工藝集成等關鍵技術方面取得了重大突破，推出了簡化工藝流程解決方案。
等離子體增強型化學氣象沉積（PECVD）技術
依靠等離子電場硅烷解離，沉膜速率快，摻雜效率高
定向沉積，繞鍍輕微，成品率高
低溫工藝，腐蝕性附產物少，耗材成本低
